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MIMにより作製したナノインプリント用スタンパーの加工精度に関する研究

机译:MIM制造的纳米印刷压模加工精度的研究

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摘要

本研究では,このMIMの利点を活かし,インプリント用のスタンパー金型をMIMで作製する方法(RPiMIM/NIL process)を提案し,作製することを試みた。金属粉末の粒径を変化させ構造体の形状特性の把握を行った.さらに,作製した金型を用いてインプリント成形を行い,作製された成形体の微細転写挙動を把握することで,MIMによる高精度インプリント用金型の製造可能性を検討した.
机译:在这项研究中,我们试图提出一种制造压模模具的方法,用于利用这种MIM的MIM来推动,并试图制备和产生制造方法(RPIMIM / NIL过程)。改变金属粉末的粒径以抓住结构的形状特性。此外,使用制造的模具进行压印模塑,通过抓住制造的模塑体的细传递行为来检查MIM的高精度压印模具的可制造性。

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