MIMにより作製したナノインプリント用スタンパーの加工精度に関する研究

机译：MIM制造的纳米印刷压模加工精度的研究

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本研究では，このMIMの利点を活かし，インプリント用のスタンパー金型をMIMで作製する方法（RPiMIM/NIL process）を提案し，作製することを試みた。金属粉末の粒径を変化させ構造体の形状特性の把握を行った．さらに，作製した金型を用いてインプリント成形を行い，作製された成形体の微細転写挙動を把握することで，MIMによる高精度インプリント用金型の製造可能性を検討した．

机译：在这项研究中，我们试图提出一种制造压模模具的方法，用于利用这种MIM的MIM来推动，并试图制备和产生制造方法（RPIMIM / NIL过程）。改变金属粉末的粒径以抓住结构的形状特性。此外，使用制造的模具进行压印模塑，通过抓住制造的模塑体的细传递行为来检查MIM的高精度压印模具的可制造性。

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来源
《塑性加工連合講演会》|2010年||共2页
会议地点
作者
大久保健児; 田中茂雄; 伊藤浩志;
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正文语种
中图分类 TG3-53-53;
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