長尺材のエポキシ樹脂パッドによる研磨特性(第2報)－パッドドレッシングの影響

摘要

テレビやモニターなどの液晶ディスプレイは急速に大型化が進み，現在第10世代である2850×3050mmサイズのマザーガラスの使用が開始されている．これらガラス基板上にパターンを転写する装置や周辺装置も大型化し，塗布用のノズルやステージなどに使用される数メートル以上の長尺の素材表面には高い平坦度が要求される．これらの素材に対しては，研削加工後に表面粗さを改善するために，ピッチを貼った小径回転工具の直線搖動による研磨加工が施されている．しかし，研磨能率が極めて小さく，加工能率を向上させることが求められている．本報告では，ポリウレタン樹脂パッドに比べ研磨特性に優れているとされるエポキシ樹脂パッドを工具として，長尺材と同じ材質の円板形試料を用いて，加工特性に及ぼすドレッシング等の影響を明らかにし，長尺材研磨の加工能率向上の可能性を検討する．