先端的難加工材料の高効率精密加工法の研究（第3報）―fsレーザ照射による疑似ラジカル場形成ダイヤモンド基板とその基本的加工特性

摘要

超難加工材料であるダイヤモンド基板に対してfs レーザ照射により疑似ラジカル場が形成することを断面TEM分析、ラマン分光分析により確認した。また、疑似ラジカル場を形成したダイヤモンド基板の基本的な加工特性について、特殊調合酸化物スラリーを用いたCMPにより確認した結果、疑似ラジカル場を形成した基板の方が、疑似ラジカル場のない通常の基板と比較して素早く優れた表面粗さを得ることが出来ることを確認した。今後、さらなる条件の適正化を図り、超難加工材料の高効率·高品位化を実現する。