アモルファス炭素膜の合成と光学的特性及びガスバリア性の評価

摘要

アモルファス炭素膜は主に炭素と水素から成り原子数密度が大きく，樹脂製容器にコーティングすることでガスバリア性を向上することができ1)，既に産業的に実用化されている．さらにアモルファス炭素膜は，缶·瓶の代わりに用いるPET ボトルのリサイクルの簡便さという面でも注目されている．一方でコーティングによって，PET の有する可視光領域での光学的透明性が低下することが，内容物視認性，意匠性の問題点として挙げられる．そこで本研究ではガスバリア性と透明性の向上を目的とし，パルスプラズマCVD 法によってアモルファス炭素膜を合成し，酸素バリア性及び光透過性の評価を行った．