新型2軸回転タイプ両面ラップ盤における工作物平行度修正方法の検討

摘要

2枚のラップ板の回転軸をずらせ、これらの間に工作物を挟み、工作物の回転中心が両ラップ板の回転中心の真h中になるようにして、両ラップ板と工作物の3者を同じ向きに等速度で回転させる研磨運動にはすぐれた研磨特性の可能性があることを報告した。可能性を検証するため、下ラップ板強制回転で工作物と上ラップ板は研磨抵抗により連れ回りする型の両面ラップ盤を開発した。このラップ盤によってサファイア基板を研磨したところ、工作物と上ラップ板は下ラップ板に近い回転速度で連れ回りし、両面研磨が可能であった。しかし、このラップ盤の場合、そのままでは、工作物の平行度を研磨中自然に（自律的に）修正する能力を有していない。そこで、本報告では、この新型2軸回転タイプ両面ラップ盤を用いて、同形の工作物を複数同時に研磨する場合における工作物の自律的な平行度修正方法を検討した。