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目录
第1章 绪 论
1.1 课题背景及研究的目的和意义
1.2 平行度误差测量的国内外研究现状
1.3 平行度测量国内外研究现状综述
1.4 本文的主要研究内容
第2章 基于双频激光干涉原理的平行度测量系统
2.1 引言
2.2 双频激光干涉测量原理分析
2.3 平行度测量系统结构设计
2.4 平行度测量模型建立
2.5 本章小结
第3章 运动机构耦合位移检测与补偿
3.1 引言
3.2二维位移机构设计与仿真分析
3.3 耦合位移检测电路设计
3.4 本章小结
第4章 平行度评定数学模型
4.1 引言
4.2 平行度误差评定原则分析
4.3 平行度误差评定模型建立
4.4 本章小结
第5章 平行度测量实验与测量不确定度评定
5.1 引言
5.2 平行度测量实验
5.3位移机构Z向耦合位移测量实验
5.4 测量结果不确定度评定
5.4 本章小结
结论
参考文献
声明
致谢