レーザトラッピングによるナノCMM に関する研究（第11報）：横方向強制振動型プローブの応答特性

摘要

半導体微細加工技術の応用により，マイクロマシン関連の技術が成熟期に入って来ているのに対応して，その幾何形状評価技術（nm オーダの精度を持つ3次元座標測定機：ナノCMM）の開発が望まれている．われわれのグループではレーザトラップにより大気中に捕捉された微粒子をナノCMMの位置検出プローブとして用いることを提案し，その位置検出能の検討を行ってきた．本報では急峻な測定面に対する位置検出能を新たに付与するべく，プローブ球の横方向振動を試み，その基本応答特性についての基礎実験を行ったのでこれを報告する．