大型非球面形状のナノメートル測定（第7報）－広測定範囲のオートコリメータを用いた非球面ミラーの測定

摘要

今回，広範囲の測定が可能なオートコリメータをリニアステージに取り付けX軸上を走査する方法で非球面形状である非軸放物面ミラーの測定を行い50nm以内の形状標準編差で計測することができた．より高精度で計測するには，ピッチング誤差の補正や温度変化などさまざまな要因を考察していかなければならない．