細胞機能解析のためのマイクロニードル搭載型バイオプローブの開発（第３報）－バイオプローブの作製と基本性能の評価

摘要

本研究では，細胞の機能解明を行う新たなキーデバイスとして，原子間力顕微鏡（AFM）のプローブ先端に中空構造を有するマイクロニードルを形成することで，AFM計測機能に加えて，細胞への極微量な生体分子（DNA，タンパク質など）の注入や採取が可能となる高機能なバイオプローブの開発を目的としている．本報では，プローブ作製に必要となる，カンチレバー構造とマイクロニードル構造を形成したSi基板同士の接合技術として，直接接合において電界を援用する方法（電界援用直接接合）を検討した．さらに，これまでに開発した先鋭化ニードルの作製技術と組み合わせることで，提案するバイオプローブの試作を行った．