小径軸物デバイス加工用レーザ/電解複合加工機の開発－第一報複合加工機仕様とレーザ加工計測モジュールの開発

摘要

本研究では心臓外科，脳外科に応用されるカテーテル，チューブ，高密度電子回路検査用プローブ等の高精度，高効率，低環境負荷加工を目指し，同一機上でレーザ·電解逐次複合加工可能な小型複合加工機を開発することを目的とする．本報では複合加工機のイメージ，レーザ·電解複合加工の概要，同一光源で小径軸ワークの加工，計測を行うレーザ加工計測工程の概要，開発したレーザ加工計測モジュールとその仕様について報告する．