用流体承载的定位盘以及用于使激光光学器件相对于该定位盘的轴偏置的装置进行激光微加工的光学组件

摘要

本发明涉及一种激光光学组件，其包括：光学头(12)，其带有成像或聚焦透镜以及透镜控制装置并且适于提供激光束(14)，从而沿着射束(14)的轴在组件的基准点处产生掩膜图像或射束焦点(13)；工作站(W)，其适于使基板工件(15)相对于基准点定位，从而使掩膜图像或射束焦点(13)沿垂直于通过工作站(W)定位的基板工件(15)的射束(14)的轴定位；该工作站(W)还适于使工件(15)在给定的方向(X，Y)中横切射束(14)的轴位移；定位盘(11)以及可在工作站(W)上的基板工件(15)的定位盘区上面流体承载该定位盘的装置；以及连接装置，其将定位盘(11)与光学头连接，以致定位盘(11)能够使光学头(12)相对于轴向(X，Y)位移；以及偏置装置(D)，由此至少当定位盘(11)被流体承载时，定位盘(11)以及定位盘轴(P’)在垂直于射束(14)的轴的方向中偏离激光射束(14)的轴。