Ni-W 電着ダイヤモンドマイクロ工具の性能向上－埋込み時間，送り速度および切削速度が電着工具の加工性能に及ぼす影響

摘要

本研究では，このNi-W 電着マイクロダイヤモンド工具の一層の性能向上を図るために，粒径8～16μm の粗粒のダイヤモンド工具については埋め込み時間の適正化を図ってシリコンの溝加工における寿命の延長を目指すとともに，粒径2～4μm の微粒の工具については加工条件（送りと研削速度）について寿命の点から見た最適化を図ったものである．それとともに，加工溝の評価も行った．