韓国半導体産業におけるCMPプロセスの開発動向

摘要

こうした韓国半導体産業の急激な変化に従うための先端プロセスの開発またその安定化は今までより必要性が高まっている。特に歴史が短い平坦化ＣＭＰプロセスは、重要性が高くなる一方解決しなければならない課題は多くなる傾向である。本キーノトにおいては、韓国半導体産業におけるＣＭＰプロセスの開発動向をデバイスメーカからのニーズ、装置·消耗資材メーカの国産化、また大学·研究機関の研究開発に分けて述べる。