低接触力プロービングにおけるマイクロ現象(第2報) プローブ材料のコンタクト耐久性への影響

摘要

また，フリッティングコンタクトプロービングを実用化するために，フリッティングコンタクトの持続性，すなわち多数回のコンタクトにおけるコンタクト特性の評価を前報において行った．機械的なコンタクトおよびフリッティングの影響によって，プローブ先端にAl 電極の削りかすが付着し，コンタクト不良を起こすことが明らかとなった．本報では，フリッティングによるプローブへの付着物形成過程を明らかにするため，プローブ先端への付着物の変化をより詳細に観察するとともに，プローブ材料の違いがフリッティングコンタクトの持続性に及ぼす影響を論じる．