脆性材料の微細加工技術に関する研究（第1報）ろう材を用いた微細加工用工具の開発

摘要

このため、本研究では、機械部品の製作に用いられるマシニングセンターを使った脆性材料の微細加工技術の開発を行う。マシニングセンターを使い脆性材料の微細加工を行うためには、①微細径に成形しても折損せず加工ができ、②マシニングセンター上で成形可能な工具が必要である。脆性材料の加工には通常電着工具が使用される。しかし、電着工具は前述の①の条件は満たしても、砥粒層が１層であるため、マシニングセンター上での成形は不可能である。本報では、上記①②の条件を満たす脆性材料の微細加工を行うための工具として、結合剤にろう材を使用した超砥粒砥石を開発したので報告する。