ELID研削と磁性流体研磨(MRF)を複合した超精密複合プロセスの研究－第4報：シリコンウエハのMRF特性

摘要

前報では，ELID鏡面研削とMRF研磨磁性流体研磨を併用することでELID/MRF 統合仕上げ加工プロセスを提案した．高精度·高能率かつ運動転写性の高いELID 研削の効果と，高精度のローカル修正研磨かつナノレベルの加工単位を実現するMRF 磁性流体研磨法の利点を相乗化することで，これまで困難であったこれまで達成不可能とされてきた加工精度を形状精度と表面品位を効率良く両立する技術構築を目指しガラスレンズの加工実験を行った．本報はシリコンウエハのMRF 基礎研磨特性を検討する．