マイクロ放電加工における振動付加の影響に関する研究－表面粗さとの関連および最適振動条件の検討

摘要

マイクロ放電加工は主として微細穴の加工を目的として発展してきたが，近年その適用範囲は広がりつつある．本研究室ではSTM の原理を応用した三次元形状·寸法測定装置用のプローブをマイクロ放電加工により製作してきた．この際，通常のマイクロ放電加工では製作が困難な形状のプローブ加工において，圧電素子による工具電極への振動付加が加工の安定性を向上させるとともに，加工時間を短縮する効果を持つことを確認した．本研究では，マイクロ放電加工に振動を付加した際の加工時間，電極消耗，表面粗さなどを調べることで，振動付加放電加工の有効性について調べた．これらの実験結果に加え，ひずみゲージを用いて圧電素子の振動振幅が加工液中でも変化するのかどうか測定した．また，加工時間短縮と関係があると思われる，工具電極と被加工物間における溶着現象の測定を試みた．