標準ナノ粒子を用いたナノパーティクルカウンタの検出精度評価

摘要

本研究では、Si ウエハ表面上のナノパーティクルを光散乱法によりナノメートルオーダの精度で計測できる測定機の開発を行っている。さらに、超精密加工面上のスクラッチやマイクロラフネスなどの表面ナノ構造まで計測できる測定機への応用も目指している。これまでに、市販のパーティクルカウンタを用いた比較測定から、ベアSiウエハ上のパーティクルに対する本ナノパーティクル測定機の有用性を示している。また、本測定機によるナノスクラッチ測定法も考案して、その有用性も示した。さらに、本測定機を用いて超精密加工面上の空間波長1μm 程度としてマイクロラフネスの分布をサブnm オーダの精度で測定できるマイクロラフネス測定法を考案して報告している。