マイクロ部品の製作法に関する研究(第3報)―穴付マイクロ軸部品の製作

摘要

本研究では，マイクロ機械部品を量産するための生産技術に関して検討する．すなわち，部品サイズや加工形状が数～数百μm のオーダーとなるマイクロ機械部品を効率および精度良く量産加工するためには，通常の一般サイズ部品に適用されている生産技術手法を，そのまま相似的に小さくする手法のみでは対応できないものと考えられる．例えば，ハンドリング，チャッキングあるいは組立加工精度などが不足するといった問題が発生する．したがって，マイクロ機械製品に対する有効な生産技術の検討が重要である．前報においては，マイクロ機械製品としてマイクロシリンダを取上げ，同製品の部品であるマイクロピストンロッドの切削加工法に関して検討した．それに対して本報では，前記部品の外周加工精度および軸先端の横穴加工精度などに関して詳細に検討した．