片側パターン電極を用いた電気粘性流体援用研磨法に関する研究(第2報)：粒子系電気粘性流体を用いた場合の研磨性能

摘要

電気粘性流体(Electro-rheological fluid；以下ER 流体)は，電圧の印加により粘性が増加する機能性流体の一種である．この電気粘性効果(Electro-rheological effect；以下ER 効果)を用い，研磨加工の高効率化が可能であるとの報告がなされている．しかし，ここで用いられている両側電極方式では，電極同士の接触や切りくずを介しての放電による電圧供給の不安定性，装置の複雑化，作業の危険性などの問題点を有している．そこで本研究では，従来の対向する両側電極でなく，片側に電極を集約した片側パターン電極によりER 効果を得るという報告に着目し，前報にて片側パターン電極の研磨加工への適用を試みた．本報では，研磨条件を細かく変更していくことにより，ER 流体援用研磨法の特性を明らかにする．