ELID 研削における研削液供給方法に関する研究（第６報：加工に使用した微細ピンの評価）

摘要

したがってマイクロツールは，ナノメートルレベルまで制御できる非常に平滑な表面性状を必要とされる．さらに，そのマイクロツールを用いた機械加工では，高品質な表面仕上げを達成することが最終目標である．そこで本研究では，「マイクロ·ワーク·ショップ」という概念に基づいて考案した旋回電極式ELID 研削システム搭載小型縦型円筒研削加工機を用いて，マイクロツールを製作し，そのマイクロツールを使用した切削加工における送り速度の影響について検討を行った．