スポット光投影方式による穴内面上の溝深さ測定精度の解析

摘要

筆者らは，先に図1 に示すような動圧軸受を対象にして，内面の溝形状を測定する技術を開発した．本研究は溝深さが変化した場合の測定精度を，理論的に解析し，実験的に検証したものである．溝深さの異なる沢山の試料を作ることは経済的に困難である．そこで本研究では連続的に溝深さが変化する試料を考案し，目的とする実験を行った．以下に理論的解析結果と実験結果を示す．