レーザープローブを用いたオンマシン形状計測システムの開発とその特性

摘要

高度情報化社会を支える情報通信機器，各種モバイル機器は，近年，急速な小形化および軽量化に伴い，それらを構成する精密電子部品，光学系部品，機構部品は一層の微細かつ高精度な加工が要求されている．このような微細な精密部品では，加工技術に加え，微細形状や表面粗さなどの計測·評価技術も重要である．特に，加工機上において形状測定を行う機上計測技術は，様々な形状のワークを着脱することなく形状が計測できる点で，精度的·能率的に多くの利点がある．これまでにも著者らは，原子間力顕微鏡，低測定圧触針式形状測定プローブを用いた機上計測システムの開発を行ってきた．本報では，微細構造を有する精密部品の形状計測のために，非接触レーザープローブを用いたオンマシン形状測定システムの開発を行ったので，その概要と特性について報告する．