傾斜を用いた1mG MEMS加速度センサの分解能評価の検討

摘要

Microelectromechanical systems（MEMS）加速度センサの分解能は、加振機を用いて評価される。加振機が印加できる加速度は通常10mG（1G＝9,8m／s~2）以上であるため、1mG 以下の加速度による評価は困難である。そこで本研究では、傾斜による評価に着目し、1 mG以下の分解能を有するMEMS加速度センサに対して本方法により性能を評価した。