匂いセンサ用感応膜塗布の安定的手法の確立

摘要

昨今IoTなどにおいて様々なセンサをネットに接続することによりデータを取得することが大変注目されている。そのためのセンサは多岐にわたるが、匂いセンサに関しては実際に使われているケースはまだほとhどない。その理由にこれまで小型の匂いセンサがあまり存在しなかったことにある。筆者らは長年、感応膜を霧化法で塗布させたQCM（Quartz crystal microbalance）を用いた匂いセンサの開発を行っていた。しかし、霧化法で感応膜を塗布する場合、素子全面に膜塗布できるが基板を部分的に選択して膜塗布することはできない。小型の匂いセンサを実現するためにはone chip上に複数センサを製作することが有効であり、そのためには部分的に選択できる膜塗布法が有効である。そのような膜塗布法としてはインクジェット法があるが気泡の影響を受けやすく簡便で安定に動作させることが困難であった。そこで、膜物質を有機溶媒に溶かしてシリンジで塗布するキャスト法を用いていたが再現性が不十分であった。そこで、本研究では高速電磁弁を用いた選択的な膜塗布法を検討した。