レーザラマン分光法によるマルチガス計測装置の高感度化

摘要

水素をはじめとする様々なガス関連施設において，応答性に優れ，応用範囲の広い光学式ガス計測装置に対する需要が高まってきている．筆者らはこれまで，ラマン効果を用いた小型の光学式ガス討御技術の開発を進め，濃度1%以下の複数のガスを単一の装置で計測可能であることを実証した．今回，新たに検出限界1000ppm以下を目標として，ガス計測性能の向上を図った．本報告では開発した新しい装置について述べる．