有機·無機ハイブリッド材料をバインダーとするアルミナ電着膜の熱伝導性と耐熱性

摘要

熱伝導性，絶縁性，耐熱性を共立する絶縁被膜の作製技術として，ポリジメチルシロキサン（PDMS）系有機·無機ハイブリッド材料をバインダ材料とするアルミナ電着膜の作製技術について研究を行ってきている。PDMS系ハイブリッド材料は，高柔軟性，高絶縁性，高耐熱性を有する。PDMS系ハイブリッドをバインダ材料として用いた場合，電着膜に柔軟性を付与して，金属-電着膜間に発生する熱応力を緩和することで，金属上への緻密な絶縁膜の形成が可能となった。