効率的オゾン生成のためのオゾン生成要素の考察

摘要

放電部分での酸素の挙動については、まだよく知られていない領域を残している。今回、供給ガスの違いによる放電特性の差異に着目して、放電部分での酸素の挙動についての考察を行い、オゾン生成メカニズムの解析をしたので報告する。