圧電トランスを用いた小型オゾン発生システムの開発－圧電トランスの駆動法によるオゾン生成特性の検討

摘要

著者らは小型高電圧発生素子である圧電トランス（Piezoelectric Transformer: PT）を用いたオゾンリアクタを開発している。本オゾン発生器は高電圧を発生するPT表面を電極とし、誘電体バリア放電を発生させることでオゾンを生成する。これまでは、PTの駆動用電源には市販の信号発生器と電力増幅器を用い、オゾンリノアクタ部分の特性について検討してきた。本研究ではPT型オゾン発生器の実用化を目指し、駆動用電源とオゾンリアクタを一体化した小型オゾン発生システムを構築した。本報告では、開発したオゾン発生システムのオゾン生成特性とPT の駆動法について検討した結果を述べる。