高気圧窒素中のCF_3I混合による繰り返し放電時の初期電子数の増加

摘要

しかし，窒素は放電により数多くの中性活性種（原子，準安定励起粒子）が発生する。この中性活性種はポテンシャルエネルギーが高いことから，電離の助長や初期電子の供給に寄与する。一般的に準安定励起粒子は高気圧では実効寿命は短いとされている。しかし，V50 の低下や準安定励起準位の脱励起反応速度定数の大きい分子を混合させると初期電子数は減少する結果が得られている。また，その減少速度は混入ガスの脱励起反応速度に依存している結果も得られている。