電解質溶液を陰極とした微細ガス流を用いた大気圧グロー放電の生成

摘要

電極間距離が数100μmのマイクロギャップ間において、ヘリウムの微細ガス流を用いて大気圧グロー放電を生成し、電極間距離、ガス流速、液体の導電率等によって生じる諸特性の変化を調べた。また放電物理学のうえからも液面からの電子やイオン、蒸気等の放出の過程は未解明な点も多い。