純粋NH_3およびNH_3-Ar混合気体中の電子輸送係数の測定

摘要

プラズマ反応を用いる工業上のさまざまな応用から関連する気体原子および分子の電子衝突断面積に関する需要は高まっている。さまざまな気体を含む任意混合気体の電子輸送特性は諸気体原子分子の断面積が正確に知られていれば容易に計算できる。われわれはこれまで電子スオーム法によりさまざまな分子の電子衝突断面積セットを決定してきたが、同じ手法を用い、プラズマププロセスに広く用いられるアンモニア(NH_3)のより正確な電子衝突断面積セットを決定する目的で、純粋NH_3およびNH_3-Ar混合気体中の電子輸送係数の測定を行った。NH_3に関してはYusfiらの詳細な研究があるが、今回新しく測定するNH_3-Ar混合気体中の輸送係数を加えて再検討する必要がある。