SUS316L溶射皮膜への複合低温プラズマ処理

摘要

これまでは，低温プラズマ窒化処理と低温プラズマ浸炭処理をそれぞれ単独で行っていたが，これらの処理を組み合わせることで，S相の膜厚および硬さなどを改善できる可能性が報告されている．例えば，SUS316鋼材に処理温度723Kでプラズマ浸炭処理を4h行い，次にプラズマ窒化処理を4h行った場合，形成したS相の厚さは浸炭処理8hまたは窒化処理8hをそれぞれ個別に処理した場合より，厚膜になることが報告されている．そこで，本研究ではSUS316L溶射皮膜に対して，低温プラズマ浸炭処理と低温プラズマ窒化処理を組み合わせた複合処理を行い，S相の生成および表面硬さの評価などを行ったので報告する．