机译:超大型系统集成(ULSI)中铜化学机械抛光(CMP)和CMP后清洗的综述-电化学角度
机译:气囊型晶片载体预测CMP工艺抛光压力分布
机译:铜的CMP的终点检测方法
机译:具有用于铜CMP应用的集成终点检测器的新型反吹晶圆载体的开发
机译:用于集成电路制造的化学机械平面化/抛光(CMP)的集成模型:从微粒级到芯片级和晶圆级。
机译:用于光电二极管检测器应用的InGaN / GaN量子阱的增强的光吸收和载流子传输
机译:考虑双面研磨期间晶片和载波接触的晶片行为高精度模拟模型的开发
机译:使用从工艺温度和载体电机电流测量获得的橡皮布去除率数据和端点数据预测钨Cmp垫寿命