Excimer lasers; Micromachining; Laser-LIGA;
机译:准分子激光制造技术在LSI器件的失效和微观结构分析中的应用。
机译:使用准分子激光掩模投影技术直接制造微型生物粒子电操纵器设备
机译:用于制造微电子器件和显示器的金属薄膜的准分子激光投影光烧蚀图案
机译:制造技术及其应用于生产新型微机械结构和使用准分子激光投影的装置
机译:准分子激光微加工技术在微流体系统中的分析与制备及其在微流体和生物医学设备中的应用。
机译:基于铌酸锂的共振传感器的激光微加工在医疗设备中的应用
机译:钛收集器通过激光烧蚀技术的微结构:一种有希望的方法来生产用于组织工程应用的微图案支架。