机译:用于MEMS电容式压力传感器应用的方形ZnO,ZnS和AlN膜的建模
机译:基于AFM的心脏病学电容式MEMS压力传感器的表征方法
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机译:用于伤口监测应用的MEMS电容传感器
机译:使用电容传感器接口实时监视和表征RF MEMS开关和MEMS变容二极管。
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机译:开发无线mEms多功能传感器系统和用于监测混凝土路面的嵌入式传感器的现场演示:第二卷 - 用于混凝土路面健康监测的无线mEms多功能传感器(Wms)系统的开发。