ナノ多結晶ダイヤモンドと焼結ダイヤモンド製研削工具との間に生じる熱化学反応のメカニズム

摘要

ナノ多結晶ダイヤモンド（NPD）はサイズが数十ナノメータのダイヤモンドの超微粒子で構成されており，機械加工容易面を持っていない．したがって，NPDを超精密切削加工用の工具として用いるためには，NPDを短時間で工具形状に成形できる粗加工技術や，欠けが無い鋭利な切れ刃を成形できる仕上げ加工技術を開発する必要がある．本研究では，市販の焼結ダイヤモンド（PCD）に偏析しているコバルト（Co）を他の遷移金属で置換したPCD製円板をツルーアに用いてNPDに対する乾式研削を行い，NPDとPCD製ツルーアとの間に生じる熱化学反応のメカニズムを解明するための実験を行った．