形彫り放電加工による難加工材のマイクロ穴加工

摘要

放射線治療用のマスク基板などのようにタングステンやチタン基板などに微小な穴を多数あけるニーズが増大している．他にもドリルによる機械的なドリル加工，超音波加工，レーザ加工，ウォータジェットなどの穴あけ加工法があるが，被加工材質が難削材の場合，加工精度が悪い，加工が困難である，といった問題点が存在する．そこで，工作物が導電体であれば硬度に関係なく高精度な加工が可能な形彫放電加工に着目し，銅タングステン電極によるタングステン基板への穴あけ加工を試みた．実験では電極に銅タングステンとリン青銅製の電極を用い，タングステン基板とリン青銅電極を用いたマイクロ形彫放電加工を行い，電極の摩耗の度合いと穴精度について評価したので報告する．