レーザ誘起熱変形レンズを光学系とした微細加工

摘要

筆者らは，金型を使用せずに小ロットの小径プラスチックレンズを製作する方法としてレーザ誘起熱変形法を考案した簡便なレーザ加工装置を使用することで，プラスチック基板上に集光素子を形成することが可能である．したがって，透光性基板に同加工を施すことで，局所的な高エネルギー密度分布を作り出す基板，すなわち集光機能を兼備したマスクが作製できるであろう．本研究では，Nd：YAGレーザ第二高調波に対して透過性を有するプラスチック基板を用いて“集光マスグを製作してレーザ加工用光学系として使用した結果について報告する．