静圧空気軸受における回転誤差と軸形状: マルチステップ法の実用化に向けた評価法の確立

摘要

精密加工機や測定機の回転案内運動機構として用いられる静圧空気軸受には，その性能として高度な「剛性」「負荷容量」「運動精度」が必要となる．運動精度には，軸受部品の加工精度が影響することが経験上知られているが，両者の因果関係を定量的に実証した例は少なく，現場技術者の技能に依存した部品加工が行われているのが現状であり，剛性や負荷容量とは異なり明確な設計指針が確立されていない．