アブレイシブジェットによるマイクロ形状制御パターニング: 第2報：スリットによる微細スロープ動圧溝の高精度化

机译：Ablash Jet的微观形状控制图案：第二次报告：狭缝电压动态压力槽的高精度

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HDDのスピンドルモータには，動作時の振動低減や，静音化，および回転の高精度化を目的として，流体動圧軸受が採用されている図1に流体動圧軸受の構造例を示す．軸受のシャフト表面には，V字形状の微細なヘリングボーン溝が加工されている．シャフトの回転時に，潤滑流体がこの溝に沿って，溝両端部から中央部へ流れ込むことで，シャフト半径方向に高い動圧が発生し，シャフトはスリーブとは非接触の状態で回転支持される．この動圧効果によって，回転時の偏心が低減され，低振動かつ高精度な回転が実現される．

机译：HDD主轴电动机示出了图1中的流体动力压力轴承的结构示例。如图1所示的实施例，其中采用了流体动态压力轴承，目的是在操作，降噪和旋转高精度下减小振动。在轴承的轴表面上加工V形细胞条槽。当轴旋转时，润滑流体沿着凹槽从凹槽流到中心部分，在轴径向上引起高压压力，轴在非接触状态下用套筒旋转。。这种动态压力效应在旋转时减少了偏心率，并且实现了低振动和高精度旋转。

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来源
《砥粒加工学会学術講演会》|2019年|1(CD-ROM)|共4页
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作者
和田大智; 中前翔太; 児玉紘幸; 大橋一仁;
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中图分类 TG73-53;
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