微細三次元形状測定用極小径光ファイバプローブの製作

摘要

近年の微細加工技術の進歩に伴い，微細形状を測定する重要性は増加している．特に，微細金型や各種ノズル穴，半導体TSV，MEMS（MIcro Electro Mechanical Systems），マイクロマシン等のマイクロ部品，光通信機器，医療機器などの微細形状の測定技術が各機器の高機能化のために要望されており，これまでに各種方法が提案されている．本研究では，微小径で高アスペクト比形状が容易に製作できる光ファイバをスタイラスとして使用した測定原理を提案する．本報では，エッチング液の温度制御によるスタイラスシャフトの製作方法およびスタイラス接触子の製作を目的としたCO_2レーザ光学系の改良結果について述べる．