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Experimental analysis on frequency stability of piezoelectric microcantilever sensor under varying environmental and operational conditions

机译：压电微电机传感器频率稳定性在不同环境与运行条件下的频率稳定性

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An experimental analysis was performed to understand the effects of environmental and operational conditions on the frequency stability of a piezoelectric microcantilever sensor (PEMS). Variation of the resonant frequency was analyzed with changes in the relative humidity (RH), vacuum state, DC bias voltage, oscillating voltage, and time.

机译：进行实验分析以了解环境和运行条件对压电微静电传感器（PEMS）频率稳定性的影响。通过相对湿度（RH），真空状态，DC偏置电压，振荡电压和时间的变化来分析谐振频率的变化。

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来源
《Anniversary Eurosensors Conference》|2013年||共4页
会议地点
作者
Sangkyu Lee; Yeolho Lee; Jeong Suong Yang;
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中图分类 TP212.2;
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