GaN; Epitaxy; Magnetron sputtering; HRXRD;
机译:ZnO缓冲层对RF磁控溅射生长的ZnO:Al,P薄膜结构和电性能的影响
机译:射频磁控溅射在ZnO缓冲层上制备GaN膜
机译:射频磁控溅射在具有各种缓冲层的Si上生长的ZnO薄膜的PL依赖性
机译:磁控溅射在ZnO缓冲层上生长的外延GaN薄膜的HRXRD研究
机译:射频磁控溅射生长的GaN薄膜的特性用于制造AlGaN / GaN HEMT生物传感器
机译:直流磁控溅射性能的改进含保留Ar原子的Al掺杂ZnO多晶膜10nm厚的缓冲层
机译:通过RF磁控溅射在Si基板上生长的ZnO缓冲层气体气氛的影响