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【24h】

搬送システムの動的モデリングと最適化に関する研究

机译:运输系统动态建模与优化研究

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摘要

半導体生産工程において,半導体製造装置間での材料の搬送には半導体搬送装置が用いられている.半導体搬送装置では約300~400 台の自律無人搬送車(Automatic Guided Vehicle: AGV)が割り付けられた搬送指令に従って図1 のような走行路(ベイ)上を移動する.現在の搬送指令は渋滞を考慮していないため,AGV の渋滞による生産遅延が問題になっている.AGV の渋滞は搬送物の移載時とベイ同士の合流点で発生しやすい.本研究ではAGV の合流点に絞った搬送指令の最適化を考慮する.
机译:在半导体制造过程中,半导体转移装置用于传送半导体制造装置之间的材料。在半导体输送设备中,如图2所示,将大约300到400个自主导向车辆(AGV)分配给行进路径(托架),如图2所示。根据自主式引导车辆(AGV)的传输命令。由于当前的运输指令不考虑交通拥堵,因此由于AGV的交通拥堵导致的生产延迟是一个问题。 AGV交通拥堵在托架之间的运输和交叉点转移时很容易生成。在这项研究中,我们考虑优化AGV的交界处的传送命令。

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