MEMS; MOEMS; FT-spectrometer; FTIR; NIR; Spectrometer;
机译:使用基于MEMS的面内振动亚波长衍射光栅的高速,高效率激光扫描
机译:用于平面内驱动的基于MEMS的数模转换器的设计与仿真
机译:基于二维模型的面内梳状驱动MEMS致动器的横向不稳定性分析
机译:基于具有大幅度致动器的MEMS器件的紧凑型高速光谱仪
机译:基于MEMS执行器的电热微器件的设计,制造和表征。
机译:基于MEMS的传感器装置的致动和传感机制述评
机译:基于具有大振幅平面激励器的MEMS器件的紧凑型高速光谱仪