Charging; Dielectric; EFM; MEMS; Reliability; Silicon nitride; RF-MEMS; Humidity;
机译:氮化硅中电荷弛豫对静电驱动电容性MEMS器件可靠性的研究
机译:受环境气体,相对湿度和气体净化对静电驱动MEMS / NEMS器件中介电充电/放电过程的影响
机译:砷掺杂对电容性RF MEMS开关应用氮化硅膜中电荷弛豫过程的影响
机译:EFM研究湿度对静电驱动MEMS中使用的氮化硅中电荷注入和电荷弛豫的影响
机译:电容式RF MEMS中的介电电荷是用氮化硅和二氧化硅来开关的。
机译:通过静电驱动对液滴同时充电和分选
机译:可变温度静电力显微镜研究氮化硅/氧化硅界面处的电荷俘获特性