Controller of Target Power Supply in Multi-Arc Ion Vacuum Deposition

机译：多电弧离子真空沉积中的目标电源控制器

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A controller based around DSP techniques is built. The purpose of controller is to isolate the faulty or failed target power supply to a nicety, and ensure safety with minimal disruption to vacuum deposition.

机译：构建了基于DSP技术的控制器。控制器的目的是将故障或失败的目标电源隔离为1质量，并确保对真空沉积的破坏性最小的安全性。

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来源
《International Nano-Optoelectronics Workshop》|2007年||共2页
会议地点
作者
Li Yanzhe; Fan Duowang; Yang Chaohui; Kong Linggang; Zhang Weizhong; i-NOW;
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中图分类 TP241-53;
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