AD法による多機能セラミックス複合厚膜の作製

摘要

エアロゾル·デポジション（AD）法は、真空状態下にある基板に、圧力差を利用して、ガス中で粒子が分散したエアロゾルを基板に高速で噴き　つけるだけで、セラミックスのような難焼結材料でも室温中で緻密な厚膜を得ることができるため、近年では様々な成勝手法の中で注目されている。しかし、AD法では、成月莫可能な粒径の範囲が制限されており最適な粒径を吟味する必要がある。つまり、粒径のみならず、密度が異なるような複数種の粒子を同時に吹きつけても均一な組織の膜を得ることはできない。換言すれ楓AD法により「複合膜」を作製することは困難であることを意味している。そこで当研究室では、この間題を解決するために、マトリックスとなる母粒子表面に、添加物となるナノ粒子を吸着させた複合粒子を作製し、これをAD法の成膜原料とすることで、複合膜を作製する手法を検討している。本研究では、更に拡張してb種類複合粒子」を同時に吹きつけることで、多機能セラミックス複合厚膜開発を行った。