パルス圧力付加オリフィス噴射法による球形単分散Fe系金属ガラス粒子の作製に及ぼす冷却速度の影響

摘要

金属ガラスはその高機能性に加え，成形性や転写性に優れていることから高精度マイクロ部品への応岡が期待されており，そのためには精　密に体積及び組織制御きれた原材料の供給及びマイクロ加工絵が必要不可欠である．本研究では,Fe系金属ガラスの中でもガラス形成能が　高い炉[（Fe_(0.5)Co_(0.5))_(0.75)B_(0.2)Si_(0.05)]_(96)Nb_4系金属ガラス母合金を用いて，パルス圧力付加オリフィス噴射法（以下POEM）によって単分散鉄系金属ガ　ラス粒子作製過程に作製した粒子の組織と粒径及び作製時における雰囲気冷却ガスの種類との依存性について検討を行った。